Sistema combinat de buit ultra alt
Aug 30, 2021| Sistema combinat de buit ultra alt
Per a alguns sistemes de buit amb requisits especials, com els que requereixen buit ultra alt o buit ultra alt sense petroli, i al mateix temps satisfer les necessitats de bombament aspre i poden fer front a una gran quantitat de gas alliberat durant el procés, el sistema combinat es pot utilitzar per satisfer els requisits. Fig. 1 mostra el diagrama esquemàtic del sistema de buit de la màquina de recobriment ultra alt al buit lliure d'oli. La bomba principal és la bomba d'ions de brolla, que està equipada amb una bomba de sublimació de titani per tal de millorar el grau de buit i descarregar la gran quantitat de gas produït per materials evaporants. El buit final pot arribar a 6,67×10-7Pa. Bomba pre-bombament amb bomba de tamís molecular com a bomba principal. A més, el sistema també està equipat amb una trampa d'adsorció - sistema de bombament de cru de bomba mecànica, quan la pressió és superior a 1333Pa, la bomba mecànica no és fàcil de retornar l'oli, la bomba mecànica aspira directament a la cambra de buit, quan la pressió de la cambra de buit és inferior a 1333Pa, la bomba mecànica a través de la trampa d'adsorció 9 de la cambra de buit de bypass.
1. Cambra de buit 2. Vàlvula de porta de buit ultra alta 3. Bomba d'ions de brou 4. Bomba de sublimació de titani 5. Vàlvula de buit ultra alta 6. Vàlvula d'alliberament 7. Vàlvula d'alt buit 8. Bomba de tamís molecular 9. Trampa d'adsorció 10. Bomba mecànica
FIG. 1 Diagrama esquemàtic del sistema de buit de la màquina de recobriment ultra alt al buit lliure d'oli
Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD, el projecte clau en torns està disponible. Contacta amb nosaltres, e-mail:iks.pvd@foxmail.com