Bomba de difusió unitat de buit ultra-alta

Bomba de difusió unitat de buit ultra-alta
El grau de buit final de la unitat de buit ultra-alta amb bomba de difusió com la bomba principal és 10-7 ~ 10-8Pa.
Per tal de reduir la influència de la difusió del gas des de la fase frontal de la bomba de difusió i la difusió posterior del bloqueig d'oli de bomba mecànica en el grau de buit final, es pot instal·lar una bomba de difusió amb baixa velocitat de bombament en l'etapa frontal de la bomba de difusió per reduir la relació de compressió i la difusió posterior. Si el pou de sublimació de titani s'afegeix per sobre de l'entrada de la bomba de difusió, la pressió parcial de nitrogen de la bomba de difusió es pot reduir encara més i es pot obtenir el buit ultra-alt de 10-11Pa.

Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD. Contacta amb nosaltres ara, Correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com