Factors de pel · lícula fina del film causat per Magnetron Sputtering Machine de revestiment al buit
Mar 09, 2018| Els factors de la capa de film desigual causada per la màquina de recobriment de buit de magnetron, inclouen tres aspectes: estat buit, camp magnètic i gas d'argó.
El principi de funcionament de la màquina de recobriment de buit de magnetron és que sota els estats de buit, l'electró del camp magnètic ortogonal per bombardejar l'argó i formar l'ió argó, bombardeja el material objectiu, de manera que l'ió objectiu es pot dipositar sobre el superfície de la peça de treball per formar pel·lícula prima.
L'estat del buit necessita que el sistema de bombeig es controli, i cada ventilació hauria de ser accionada simultàniament i consistent. Si el bombeig no és uniforme, la pressió dins de la cambra de buit serà desigual. La pressió té una certa influència en el moviment dels ions. A més, s'ha de controlar el temps de bombament. Massa curt provocarà un buit insuficient, però és massa llarg i una pèrdua de recursos.
El camp magnètic funciona ortogonalment, però és impossible fer que la intensitat del camp magnètic sigui 100% uniforme. Quan el camp magnètic general és fort, el gruix de la pel·lícula és gran, però és petit al contrari, de manera que provocarà la inconsistència del gruix de la pel·lícula. No obstant això, en el procés de producció, el desnivell de la pel·lícula a causa de la no uniformitat del camp magnètic no és comú.
La uniformitat de gas Argon també afecta la uniformitat del film, i el principi és similar al buit. Com que l'argó entra a la cambra de buit, la pressió a l'interior de la cambra canviarà. La pressió uniforme pot controlar la uniformitat del gruix de la pel·lícula de la màquina de recobriment al buit de magnetron.
Durant més d'una dècada, IKS s'especialitza en tot tipus de fabricació d'equips per a l'aplicació de recobriment al buit, dedicada a la investigació i desenvolupament i producció de màquines de recobriment buit, amb la tecnologia més avançada que constantment satisfà les necessitats del mercat dels equips de revestiment al buit, solucions tecnològiques i equips.
