Característiques de la mesura de buit

1. Ampli rang de pressió de mesura: 10 ⁵ a 10 ^-14 Pa.

2. La majoria dels calibres de buit fan medicions indirectes. Quan la pressió és de 10 a ⁵ Pa, la força per àrea unitària es pot mesurar directament. Tanmateix, la majoria de les pressions de buit s'han de mesurar que són més petites que les descrites anteriorment i no es poden mesurar directament. Les mesures indirectes s'han de fer utilitzant certes característiques (com ara la conducció de calor, la viscositat i la ionització) dels gasos a baixa pressió.

3. La tecnologia de mesura de quantitat no elèctrica s'adopta principalment. Atès que la tecnologia de mesura de quantitat no elèctrica té els avantatges d'una alta sensibilitat, resposta ràpida, mesurament automàtic i de llarga distància, etc., la majoria dels indicadors de buit utilitzen aquest mètode. El manòmetre electrònic del buit es compon de dues parts, el control del buit i el circuit de mesura electrònic (unitat de control i indicació). El calibre és un element sensible. Utilitza certes característiques del gas a baixa pressió per convertir la pressió de gas no elèctric en un senyal elèctric. El circuit de mesurament amplifica i mostra el senyal elèctric de sortida. Quan sigui necessari, el senyal de sortida s'enviarà a la gravadora automàtica i a l'equip de control automàtic per aconseguir l'automatització d'equips de buit. Les condicions requerides per regular la conversió de la pressió no elèctrica en electricitat són proporcionades per la unitat de control del circuit de mesura.

4. La lectura del manòmetre parcial del buit està relacionada amb el tipus i la composició del gas. Per tant, s'ha de prestar especial atenció al tipus i la composició del gas durant la mesura, en cas contrari, causarà un gran error.

5. La precisió del mesurament no és alta. La mesura indirecta de la pressió sol requerir energia addicional per ajudar. L'energia afegida pot ser energia tèrmica, energia elèctrica, energia mecànica i energia radioactiva. D'aquesta manera, els errors de mesura s'introdueixen inevitablement al mateix temps que la introducció d'energia addicional. Per tant, els manòmetres de buit són menys precisos que altres indicadors físics. Per exemple, si la incertesa del mesurador de referència del mesurament del buit i l'instrument estàndard és (2 ~ 10) × 10-2, l'error de mesura de l'instrument de treball es troba dins de ± 20 × 10 ^-2 .