Principals problemes del sistema de buit de la bomba de difusió d'oli

Principals problemes del sistema de buit de la bomba de difusió d'oli

Fonts contaminants del sistema de buit de la bomba de difusió d'oli:
(1) el reflux de vapor d'oli a la bomba de difusió. Aquesta és la font més important de contaminació.
(2) Les peces del sistema s'han de subjectar amb la mà amb oli durant el muntatge. Utilitzeu guants grassos, ja que les molècules orgàniques enganxoses poden contaminar el sistema.
(3) el retorn de l'oli a la bomba mecànica del segell d'oli de l'antiga etapa. Aquest problema també és molt greu, quan la pressió d'entrada és més alta, a la pressió de la zona de transició (1 ~ 10-1Pa), el vapor d'oli de la bomba mecànica pot entrar directament a la bomba de difusió, contaminant directament el sistema. Gran part de la contaminació del procés de buit prové del retorn de la bomba mecànica. Quan la bomba mecànica s'atura, si l'atmosfera no s'introdueix a la bomba a temps, l'oli de la bomba mecànica es pot tornar directament a la cassola d'oli de la bomba de difusió. Quan s'engega la bomba de difusió, la contaminació del sistema és més greu.
(4) contaminació causada per l'alliberament de materials de segellat al sistema d'escapament. En particular, els anells de segellat de cautxú artificial, el greix de segellat, l'oli lubricant, etc., també causen una contaminació greu.
(5) Quan la bomba s'atura i s'allibera l'atmosfera, les peces de buit queden enganxades amb vapor d'aigua i negre de llum a l'aire, provocant la contaminació del sistema de buit.

Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment DLC, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD, el projecte clau en mà està disponible. Contacta amb nosaltres ara, correu electrònic:iks.pvd@foxmail.com