El Principi d'Ionització al calibre del buit

En el gas de baixa pressió, el nombre de ions positius generats per la ionització de les molècules de gas és proporcional a la pressió del gas. L'indicador de buit de ionització és un instrument de mesurament de buit basat en el principi que la pressió del gas a mesurar és proporcional al flux ionitzat produït per la ionització de gasos en determinades condicions.

Segons els diferents mètodes de producció iònica, un indicador de buit per ionitzar el gas per un càtode calent emet electrons es denomina un indicador de buidatge de ionització de càtodes calents i l'indicador de ionització de càtodes calents es compon d'un tub d'ample de càtode calent i un instrument de mesura. L'instrument de mesura consisteix en la font d'alimentació del tub d'ample i transmet regulador de corrent, amplificador de mesura de corrent iònica. L'ample de ionització del càtode calent es connecta amb el sistema de buit mesurat, que és un triode amb un càtode, una porta i un col·lector. El potencial elèctric del col·lector és relatiu al potencial negatiu del càtode, mentre que la graella és relativa al potencial positiu del càtode. Quan el manòmetre de ionització està electrificat i escalfat, el càtode emet electrons, que xoquen amb les molècules de gas en el procés d'arribar a la xarxa, resultant en la ionització de ions i electrons positius. Quan es fixa el corrent d'emissió, el nombre d'ions positius és proporcional a la pressió del gas sota prova. Després de recollir els ions positius, el iònic positiu es amplifica mitjançant el circuit de mesura, i el mesurament del buit es pot llegir mitjançant el mesurador d'aprovació.

L'ample de ionització del càtode calent és similar al calibre del triode, tal com es mostra a la figura a, que es compon de la placa en forma de cilindre (col·lector d'ions), la graella G i situada al centre de la xarxa de filament catòdic de la xarxa composta per F, La placa en forma de cilindre està fora de la quadrícula d'ànode.

La figura b és el circuit de control extern, el potencial de la xarxa és entre +100 ~ +300 V, i el potencial de la placa és entre 0 ~ -50V. Emet electrons de filament de càtode F després de la calefacció elèctrica. A mesura que la graella del ànode G és una tensió positiva, els electrons emesos s'acceleren, els electrons xoquen amb les molècules internes del gas, de manera que la ionització de les molècules de gas, major és la pressió del gas, major serà la densitat del gas, més oportunitats de col·lisió, el resultat dels ions més positius. Els ions positius en la tensió negativa de la placa cilíndrica sota l'acció dels ions positius per atreure la formació del corrent de la placa, major és la densitat de gas molecular (és a dir, com més gran sigui la pressió), com més gran sigui la placa actual, al contrari és petita. El corrent de la placa en el rang de mesura és proporcional a la pressió mesurada.

Quan el sistema de buit exposa l'atmosfera, absorbirà molts gasos a la superfície de la bombolla de vidre d'ample de ionització i la superfície de l'elèctrode. En l'entorn de buit, el gas tornarà a alliberar, la qual cosa afectarà la precisió de la mesura. Per eliminar aquest efecte, el tub de mesura s'ha de desgasificar abans de mesurar-lo. L'indicador de ionització utilitza el mètode de cocció per a la desgasificació, és a dir, el filament i la graella es poden energitzar i escalfar respectivament, mentre que el elèctrode de la placa que utilitza calefacció d'inducció d'alta freqüència o bombardeig d'electrons, el gas es va alliberar abans de la mesura. L'indicador de buit de ionització general té una funció de desgasificació, quan el grau de buit és superior a 1 × 10 ^-2 Pa, per desgasificar el mesurament de ionització d'acord amb l'especificació.