La bomba de condensació aspira a condensar gas a una superfície de baixa temperatura amb l'objectiu de bombar

1) La bomba de condensació aspira a condensar gas a una superfície de baixa temperatura amb l'objectiu de bombar. Quan hi hagi una superfície freda a la cambra de buit, hi haurà condensació, que pot tenir el paper d’extracció d’aire. Aquest és el principi de funcionament de la bomba de condensació criogènica i la trampa de fred criogènica. La pressió de vapor saturada està estretament relacionada amb la temperatura i, quan la temperatura baixa, la pressió de vapor saturada baixa.

La taula 1 mostra la composició estàndard de l’atmosfera. La figura 1 mostra la corba de relació de temperatura de la pressió de vapor saturada de diversos gasos. Com es pot observar a la figura 1, quan la temperatura baixa a 20 K, excepte el neó, l’hidrogen, l’heli i altres gasos difícils de condensar, la pressió de vapor saturada de la resta de components de l’aire és inferior a 10-10 torr. Així, quan el recipient hermètic ple d’aire es refreda a 20 K, el buit pot arribar a 1,2E-3 torr. A 4,2 k, només queda heli i el buit és de fins a 5 º-5torr. La superfície freda de la bomba de condensació es pot seleccionar generalment entre 14 i 20 k, i el mètode de rentat amb gas de condensació fàcil o d’aspirar amb altres bombes s’adopta per reduir molt la quantitat d’hidrogen, heli i altres gasos de condensació difícils en els bombats. sistema. Altres bombes poden eliminar una petita quantitat de gasos de forta condensació que es filtren al sistema durant el funcionament.

[taula 1] composició atmosfèrica estàndard

[FIG. 1] relació de temperatura de la pressió de vapor saturada de diversos gasos

IKS PVD, som fabricant de màquines de recobriment al buit de la Xina, per a més detalls, poseu-vos en contacte amb: iks.pvd@foxmail.com