El vídeo desxifra el principi de funcionament de la bomba molecular

El vídeo desxifra el principi de funcionament de la bomba molecular

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Com funcionen les bombes moleculars?

principi de treball:

El mecanisme de la bomba de la bomba molecular és diferent del d'una bomba mecànica, que depèn del canvi del volum de la cambra de la bomba per extreure aire.

La bomba molecular és impulsada pel motor per girar a gran velocitat. A la regió de flux molecular, les molècules de gas xoquen amb la superfície de la fulla de gran velocitat, i l’impuls es transfereix a les molècules de gas, de manera que algunes de les molècules de gas es desplacen en direcció a la superfície del cos rígid i són expulsades de la bomba. , per aconseguir l'objectiu d'extracció d'aire. Normalment amb el moviment d’alta velocitat de la superfície del cos rígid per transportar molècules de gas, i fer-lo moure en una determinada direcció del fenomen conegut com a fenomen de tracció molecular, utilitzant aquest fenomen fet de la bomba de buit coneguda com a traction molecular pump (gad pump). L’avantatge de la bomba molecular de tracció és que el temps d’inici és curt, en l’estat de flux molecular té un alt índex de compressió, pot eliminar tot tipus de gasos i vapors, especialment indicat per a l’extracció de gasos més pesats. Tanmateix, com que la velocitat de bombament de la bomba molecular de tracció és petita, el buit de segellat és massa petit, la fiabilitat de treball és pobra, fàcil de fallar mecànicament, i les dificultats de fabricació, de fet, rarament s’utilitzen. Més tard, la bomba molecular de tracció es va millorar i va aparèixer la bomba molecular turbo.

La bomba turbo-molecular conté diversos grups de pales de rotor alternades i fulles de rotor fixes, i hi ha moltes fulles inclinades a un cert angle a cada fulla, tal com es mostra a la fig. 1. La bomba turbo molecular real està composta per una cascada en diverses etapes, és a dir, que la fulla d’accionament, la fulla fixa i la fulla mòbil es disposen alternativament. Les fulles mòbils actuen com les pales del ventilador elèctric quan giren, bombant gas d’un costat a l’altre. L’augment de la velocitat de la bomba molecular és beneficiós per millorar la velocitat de bombament de la bomba molecular. A causa del límit de velocitat de la fulla, si les molècules de gas es mouen més ràpid, és més difícil bombar el buit.

Es pot veure que la bomba turbo molecular també és una espècie de bomba mecànica de buit. Per a l'extracció d'aire, s'utilitza la combinació de pales de rotor de gran turbina de gran velocitat i pales estàtiques, que produeixen una elevada relació de compressió del gas extret a la zona de flux molecular, per obtenir el rendiment de buit necessari. El buit final de la bomba turbomolecular és superior a la de la bomba de difusió, fins a 10 ^ -8pa. En funcionament normal, cal un cert grau de buit de l’etapa frontal, que varia lleugerament depenent de la bomba, generalment d’1 a 200Pa. La bomba mecànica es pot utilitzar com a bomba d’etapa davantera. La unitat d'alt buit està composta per bomba molecular i bomba mecànica. A causa de la gran velocitat de la bomba molecular turbo, normalment es condueix per si és motor, i la freqüència d'alimentació de si és entre 300-400hz. Les bombes turbomoleculars solen ser refredades per aigua.

La bomba molecular composta és una combinació de sèries de bomba molecular turbo i bomba molecular de tracció, que combina els avantatges dels dos tipus de bombes en una, i pot estar en un ampli rang de pressió de 10 ^ -6-1pa, amb una velocitat de bombament més gran. i una proporció de compressió més elevada, que millora considerablement la pressió de sortida de la bomba.

  condicions de funcionament :

(1) la velocitat del rotor arriba a 20000r / min, de manera que el temps d’inici de la bomba molecular és relativament llarg.
(2) el gas es troba en estat de flux molecular, per la qual cosa ha d'estar equipat amb la bomba d'etapa frontal. Generalment, la bomba rotativa s'utilitza com a bomba d'etapa frontal

Característiques de la bomba molecular:

Bomba molecular de lubricació d’oli: la quantitat d’oli lubricant és petita, i a la secció de buit de l’anterior etapa, la contaminació de la cambra de buit és petita.
Bomba de greix lubricant: la quantitat de greix és molt petita, la bomba seca en fase prèvia pot obtenir un buit net gairebé sense oli.
Bomba molecular amb suspensió magnètica completa: sense necessitat de greixatge, es pot utilitzar amb bomba seca, netejar amb buit sense oli.

Altres aplicacions comunes:

1. Anàlisi (espectrometria de masses, microscopi electrònic, etc.)
2. Semiconductors (components electrònics, circuits integrats, cèl·lules solars flexibles, etc.)
3. Optptica / vidre (protecció tèrmica, antireflexió, reflexió, filtre òptic)
4. Recobriment (protecció superficial, pintura decorativa, pantalla, pantalla)
5. Metalurgia al buit (forn al buit, soldadura al buit, sinterització al buit, aliatge al buit,)
6. Detecció de fuites (sistema de buit, dipòsit de combustible del vehicle, airbag)
7. Experiments de recerca (ressonància magnètica mèdica, física de partícules nuclears, investigació en fusió, aplicacions amb làser i molt més)
8. Indústria de producció de làmpades i indústries relacionades

La màquina de recobriment IKS PVD utilitza la bomba molecular de levitació magnètica. contacteu amb nosaltres ara per obtenir més detalls sobre la màquina de recobriment al buit de PVD, iks.pvd @ foxmail.com