Quins són els cinc passos de la reacció CVD
Jul 20, 2020| Quins són els cinc passos de la reacció per CVD?
(1) Els pre-reactants de diferents components en fase gasosa provenen del gas principal i transfereixen la superfície del substrat mitjançant un mecanisme de difusió. L’ideal és que la concentració del precursor sobre el substrat sigui zero, per la qual cosa el substrat reacciona immediatament, cosa que no és així.
(2) Els pre-reactants s’absorbeixen sobre el substrat, i encara es permet que els pre-reactants realitzin un grau limitat de moviment de superfície lateral sobre el substrat.
(3) Els precursors experimenten una reacció química al substrat per produir molècules químiques en el sediment, i després, després de l'acumulació, la nucleació, la migració, el creixement i altres etapes, finalment es combina una membrana contínua.
(4) Adsorban l'excés de precursors i productes de gas no nucleats.
(5) El gas adsorbit es transmet a la fase principal del gas mitjançant un mecanisme de difusió i es descarrega després de la seva transmissió.
Empresa IKS PVD, màquina de revestiment decoratiu, màquina de recobriment d’eines, recobriment òptic de maquina, línia de cotització al buit PVD. Contacteu-nos ara, correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com