Característiques de deposició de la diana elemental i la diana d'aliatge
Sep 02, 2024| Característiques de deposició de la diana elemental i la diana d'aliatge
Els recobriments quaternaris (Cr, Ti, Al) N es poden preparar ja sigui mitjançant la co-sputtering de múltiples dianes elementals o per sputtering directa d'objectius d'aliatge multicomponent. L'avantatge de múltiples dianes elementals dipositades (Cr, Ti, Al) N recobriments per co-sputtering és que cada objectiu és independent l'un de l'altre, i el contingut d'elements metàl·lics Cr, Ti i Al en els recobriments es pot controlar de manera independent mitjançant el corrent objectiu o potència objectiu [21], obtenint així recobriments (Cr, Ti, Al) N de diferents proporcions de composició [53]. Té avantatges evidents en la preparació de pel·lícules multicapa i pel·lícules mixtes. Els desavantatges d'aquest mètode són que hi ha molts paràmetres ajustables, el reciclatge multiobjectiu condueix a una composició desigual del recobriment i la relació estequiomètrica dels elements en el recobriment (Cr, Ti, Al) N no es pot controlar amb precisió [54]. Mitjançant l'ús d'un recobriment quaternari de deposició d'aliatge (Cr, Ti, Al) N, el control dels paràmetres és relativament senzill i la relació de composició del recobriment és generalment propera a la de l'objectiu d'aliatge utilitzat [55], de manera que és més fàcil d'obtenir el recobriment quaternari (Cr,Ti,Al) N amb composició uniforme. No obstant això, a causa dels diferents rendiments de pulverització de cada element que constitueix l'objectiu de l'aliatge durant el procés de pulverització, hi ha un problema de seleccionar la pols de diferents elements, de manera que la relació de composició del recobriment encara és diferent de la de l'objectiu d'aliatge [56] . En l'actualitat, en l'estudi de la preparació de recobriments quaternaris (Cr,Ti,Al)N mitjançant sputtering de magnetró, els objectius d'aliatge més comuns són els objectius d'AlTi i els dians d'AlCr.
Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment DLC, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD, el projecte clau en mà està disponible. Contacta amb nosaltres ara, correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com