Medi ambient Requirment de l'equip de revestiment PVD
Jan 20, 2018| Com que la màquina de revestiment de buit funciona sota les condicions de buit, l'equip necessita complir amb els requisits ambientals del buit.
Els estàndards industrials especificats de la màquina de recobriment de buit (incloent-hi les especificacions tècniques generals, equips de recobriment de buit, equips de junta de buit , equips de recobriment de buit de buit i equips de recobriment d'evacuació al buit) tenen uns requisits clars per al medi ambient. Només es compleixen els requisits ambientals dels equips de recobriment de buit que poden produir recobriments de PVD.
Els requisits mediambientals d'un buit generalment inclouen els requisits de l'equip de buit en el medi ambient del laboratori (o taller) on es troba l'equip de buit, com la temperatura i les partícules a l'aire. A més del requisit de components o superfície exposada en buit o en estat de buit. Aquests dos aspectes estan estretament relacionats. La qualitat de l'ambient circumdant afecta directament l'ús normal de l'equip de buit, i la càmera de buit o els components a la cambra estan nets o no tenen un impacte directe en el rendiment de l'equip. Si l'aire conté molta pols i vapor d'aigua, en el cas de la càmera de buit no està neta, no és adequat per a bombardejar l'aire que pugui corroir el metall, reaccionar amb oli de buit o contenir partícules de pols. El vapor d'aigua és una espècie de gas condensable, quan s'extreu una gran quantitat de gas condensable, la contaminació de l'oli de la bomba serà més greu. Com a resultat, el buit final de la bomba es reduirà i aleshores s'evita el rendiment del bombeig de la bomba.
La pols en els ambients industrials es distingeix per la pols, l'aerosol i la pols. Pols significa una col · lecció de pols o partícules sòlides. L'aerosol és un sistema material que flota a l'aire en forma de sòlids o molècules líquides. Si el material és sòlid o líquid, qualsevol partícula es pot anomenar partícules de pols. El nivell de neteja de l'aire es determina per la mida de les partícules de pols i, a continuació, es personalitza el nivell de la sala neta.
Les condicions normals dels equips de recobriment buit, incloent:
1. Temperatura ambient: 10 ~ 30 ℃
2. Humitat relativa ≤ 70%
3. La temperatura d'entrada de l'aigua de refrigeració no és superior a 25 ℃
4. L'aigua de refrigeració és aigua de l'aixeta de la ciutat o aigua comparable.
5. La tensió de subministrament és de 380V, trifàsica és de 50Hz o 220V, la monofàsica és de 50Hz (es determina per requeriment d'aparells elèctrics de treball), el rang de fluctuació de tensió és de 342V ~ 399V o 198V ~ 231V, el rang de fluctuació de freqüència és de 49 a 51Hz .
6. En el manual del producte s'ha d'indicar l'aire comprimit, el nitrogen líquid, la pressió d'aigua calenta i freda, la temperatura i el consum d'equips.
7. L'ambient circumdant ha d'estar net i ordenat, l'aire no contindrà la pols o el gas que pugui causar corrosió a la superfície dels aparells elèctrics i altres peces metàl·liques o que provoquin la conductivitat elèctrica de les peces metàl·liques.
A més, el laboratori o taller on es troba l'equip de buit ha d'estar net amb terratzo o pis de pintura de fusta. Per evitar que el gas emès per la bomba mecànica contamini l'ambient del laboratori, s'ha d'instal·lar el tub d'escapament (tub metàl·lic i de cautxú) al port d'escapament de la bomba per sortir del gas fora de l'habitació.
