Els factors que afecten la qualitat del procés PECVD inclouen principalment els aspectes següents
Jul 06, 2023| S'han de tenir en compte dos factors en la selecció de l'espaiat dels coixinets a la cavitat PECVD:
(1) Tensió d'il·luminació: la selecció de l'espaiat ha de fer que la tensió d'il·luminació sigui tan baixa com sigui possible per reduir el potencial de plasma i reduir els danys al substrat.
(2) espaiat entre plaques i pressió de l'aire de la cavitat: quan l'espaiat entre plaques és gran, el dany al substrat és petit, però l'espaiat no hauria de ser massa gran, en cas contrari augmentarà l'efecte de vora del camp elèctric i afectarà la uniformitat del deposició. La mida de la cambra de reacció pot augmentar la productivitat, però també té un impacte en la uniformitat del gruix.
Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment DLC, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD, el projecte clau en mà està disponible. Contacta amb nosaltres ara, correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com
