Problemes comuns de l'equip PECVD: la pressió de la cambra de reacció és inestable

Problemes comuns de l'equip PECVD: la pressió de la cambra de reacció és inestable

(1) Comproveu si la manxa del sistema de buit de l'equip té esquerdes.

(2) Comproveu si el mesurador de cabal de gas és normal.

(3) Comproveu manualment si l'interruptor de la vàlvula de papallona és normal.

(4) La bomba de buit és anormal i l'indicador de buit s'utilitza per mesurar si la velocitat de bombeig de la bomba de buit és normal.

Empresa IKS PVD, màquina de recobriment decoratiu, màquina de recobriment d'eines, màquina de recobriment DLC, màquina de recobriment òptic, línia de recobriment al buit PVD, el projecte clau en mà està disponible. Contacta amb nosaltres ara, correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com