Instrucció de funcionament de la màquina de revestiment de buit PVD

Instruccions de funcionament de la màquina de revestiment de buit PVD

començant

1. Comproveu si la vía fluvial està desbloquejada i confirmeu si la torre de refrigeració i la bomba radical funcionen normalment (la pressió de l'aigua ha de ser superior a 0,4 mpa).

2. Comproveu si el recorregut d'aire és clar i confirmeu si el compressor d'aire funciona correctament (la pressió de l'aire hauria d'arribar a 0,5 mpa).

3. Enceneu l'interruptor d'alimentació, activeu l'interruptor de "posada en marxa" i "mantingueu la bomba" i, quan la lectura del mesurador de termoparells del mesurador de buit està per sota de 10pa, engegueu els quatre interruptors del "controlador de temperatura de la bomba de difusió 1, 2 "i" bomba de difusió 1, 2 ". És a dir, la bomba de difusió s'escalfa (aproximadament 1 hora).

4. Després que el temps de calefacció sigui d'uns 10 minuts, inicieu la trampa de baixa temperatura. Després del temps de refredament de 6 minuts, premeu F1 per iniciar la trampa de baixa temperatura. Quan s'arriba a la temperatura ajustada al controlador de temperatura, es pot dur a terme una operació normal de producció.

producció i operació

1. Confirmeu que el material de la pel·lícula, el filament de la font d'ions i el marc de la peça de treball a la cambra de buit s'han col·locat segons sigui necessari.

2. Enceneu la "bomba aspra", canvieu la marxa automàtica de l’extractor d’aire a l’engranatge automàtic, engegueu l’interruptor "automàtic de l’extractor d’aire" i espereu que la porta de la cambra de buit es tanqui.

3. Quan la bomba d'arrels s'inicia automàticament, premeu el parany de temperatura baixa "F2" per iniciar la funció de refrigeració per trampa.

4. Aquesta operació ha de ser diferent del procés i hi ha canvis importants, no hi ha una descripció detallada, és a dir.

5. El procés es completa, tanqueu la pistola, la font d'ions (cal XianGui flux de potència de filament zero, i després tanqueu la font d'alimentació), com ara commutador, obriu l'interruptor d'aire automàtic, després de tancar la vàlvula de succió fina, l'extracció automàtica commutador manual a manual (aquí a més de l'avís necessari per mantenir la bomba, la bomba de difusió, el bombeig, es pressiona el commutador d'arrencada de quatre, l'altre mai no pressiona el commutador, per evitar l'error causat per la bomba de difusió exposada a l'atmosfera!) Premeu la trampa F3 per activar la funció de retorn de temperatura. Quan la temperatura de la trampa de baixa temperatura puja a més de 30 graus centígrads, obriu la "vàlvula d'ompliment". Quan s'obre la porta de la cambra de buit, tanqueu la "vàlvula d'ompliment". (nota: està estrictament prohibit confondre l’extracció automàtica d’aire amb l’interruptor d’aire automàtic)

6. El cicle anterior és el procés normal de funcionament.

tancant

1. Tanqueu la porta de la cambra de buit fins a un determinat buit i tanqueu tots els interruptors excepte el interruptor "parada".

2. La font d'alimentació, el compressor d'aire, la torre de refrigeració i la bomba radical poden ser apagats només després que la màquina de recobrament per buit s'hagi refredat durant una hora.

Nota: totes les operacions anteriors s'han de dur a terme estrictament i no es poden canviar sense permís. Si la màquina de recobriment està danyada o afectada per un funcionament inadequat, l'operador assumirà la responsabilitat corresponent.

Advertència: hi ha molts transformadors d'alta tensió en aquesta màquina, la tensió és de fins a 8KV, per evitar accidents de seguretat, no obriu la porta de protecció sota el gabinet elèctric i la cambra de buit sense permís.

Observació: la instrucció d’operació anterior no pot ser adequada per a tota la màquina de recobriment PVD, si teniu alguna pregunta sobre la tecnologia de recobriment per buit PVD, contacteu ara amb IKS PVD, correu electrònic: iks.pvd@foxmail.com