Estructura i diagrama esquemàtic de la bomba molecular

Els components bàsics de la bomba molecular són fulles giratòries i fulles estacionàries (Figura 1). La velocitat de rotació de la fulla rotativa arriba a 1800 a 90000 rpm, la velocitat a la punta de la fulla arriba a diversos centenars de metres per segon, que està a prop de la velocitat mitjana de la molècula. I les molècules de gas es transporten al port d'escapament per col·lisió amb ell. Quan la fulla rotativa que es posa a subtendir girant a gran velocitat, la probabilitat que les molècules de gas es desplacin des del costat d'aspiració fins al costat d'escapament sigui A i la probabilitat que les molècules de gas passin del costat de l'aspiració fins al costat d'aspiració és B. La fulla giratòria colpeja les molècules de gas, llavors les molècules de gas colpegen la fulla fixa i volen a la següent fulla giratòria, finalment la molècula de gas s'expulsa al port d'escapament, fent que A> B aconsegueixi la funció d'escapament.

Velocitat d'escapament de la bomba molecular = àrea d'obertura del costat d'aspiració × 11,6 × A / Bp

A la fórmula, p es refereix a l'augment del valor de la pressió.

Com més gran sigui l'angle de la fulla, major serà la velocitat d'escapament més petita de la relació de compressió. Si l'angle de la fulla és petit, la velocitat d'escapament és baixa i la ràtio de compressió és gran. La velocitat d'escapament de la bomba molecular gairebé no es veu afectada pel tipus de gas, i la pressió màxima de la bomba pot ser de 10 a 8 Pa, però la velocitat d'escapament es reduirà a molècules / àtoms lleugers.

Com una mena de bomba mecànica amb alta velocitat de rotació, la bomba molecular requereix un alt equilibri i és molt fràgil per a la matèria exterior sòlida. En general, un filtre de metall s'instal·la a l'entrada d'aquest. Quan la bomba molecular funcioni, les fulles poden estar danyades si la pressió es deteriora sobtadament.

Fig.1 Estructura i diagrama esquemàtic d'una bomba molecular

Les bombes moleculars convencionals utilitzen rodaments per assegurar la rotació d'alta velocitat de les fulles. Però la bomba molecular de nou tipus adopta una estructura de levitació magnètica, que fa que la velocitat de la fulla augmenti contínuament, i al mateix temps la bomba molecular sigui més adequada per al sistema de buit ultra-alt, també, perllonga la vida útil de la bomba molecular.

En comparació amb les bombes de paleta rotativa i bombes seques turboades, les bombes moleculars tenen un ambient de treball més net i poden aconseguir nivells de buit extremadament altes. No obstant això, les bombes moleculars no poden funcionar a la pressió atmosfèrica, i s'han d'utilitzar en combinació amb altres bombes de buit desbloquejades (bombes de paleta rotativa segellades a l'oli o bombes seques turbo) que poden funcionar a pressió atmosfèrica. La bomba molecular té una estructura complicada i un preu elevat, i hi ha vibracions durant la rotació d'alta velocitat.