Els paràmetres principals que afecta la polvorització catòdica
Jun 09, 2018| 1. la polvorització catòdica llindar
El valor mínim d'energia dels incidents ions necessaris a fallar àtoms destinació fora no és relacionada amb el tipus d'incidents ions però relacionats amb l'objectiu. Després la quantitat d'energia supera el llindar d'espetec, la rendibilitat espetec és proporcional al quadrat de l'energia d'ions abans 150 ev com el ió energia augmenta i el rendiment espetec és proporcional a l'energia en el rang de 150 ev a 1 ió kev. En el rang de 1kev ~ 10kev, la polvorització catòdica produir canvis lleugerament. Quan l'energia es va incrementar una vegada més, el rendiment espetec va mostrar una tendència descendent. Els següents són els llindars espetec de diversos metalls bombardejats amb ions de incidències diferents.
| Metall | Ió Sputtering threshod/eV | Sublimació calor/EV | |||
| Ne | AR | Kr | XE | ||
| TI | 22 | 20 | 17 | 18 | 4,40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3,53 |
| ZR | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| AG | 12 | 15 | 15 | 17 | 3,35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. la polvorització catòdica rendiment
Espetec rendiment es refereix a la mitjana dels àtoms per ions positius que pot ser emesa de la meta quan ions de incidents bombardegen l'objectiu. Els factors que influeixen en destaquen principalment els aspectes següents:
◆ El rendiment espetec Mostra una certa periodicitat amb el canvi del nombre atòmic de l'objectiu. Amb l'augment de l'electró omplint de grau de la closca de l'Àtom objectiu d, el rendiment espetec augmenta (tendència aproximadament canviant).
◆ rendiment efecte d'espècies de ion incidents en polvorització catòdica
El rendiment espetec incrementa periòdicament amb l'augment de nombre atòmic d'incidents.
La polvorització catòdica rendiment de plata, coure i Tàntal corresponent a una varietat de ions incidents de 45Kev.
◆ rendiment efecte d'angle d'incidència de ions en polvorització catòdica
Pel mateix objectiu i ions incidents, el rendiment espetec augmenta com l'angle inherent de les pujades d'ions. Quan augmenta l'angle de 70° ~ 80°, el rendiment espetec és el més gran. Continuar augmentar l'angle d'incidència, el rendiment espetec es redueix considerablement, i el rendiment espetec és de 0 a 900°.
◆ rendiment efecte de la temperatura de l'objectiu en la polvorització catòdica
En general, en un rang de temperatura on espetec rendiment es pot considerar estretament relacionat amb l'energia de sublimació, el rendiment espetec gairebé no canvia amb la temperatura. Si la temperatura excedeix aquest rang, el rendiment espetec tendeix a augmentar ràpidament.
