Tipu de sistema de buit

El sistema que utilitza per complir certs requisits procés, capaç d'obtenir i mesurar el buit necessari específiques s'anomena sistema de buit. Un sistema de buit més completa consta de cambra de buit, requereix de bomba de buit o unitat buit, dispositiu de mesura de buit, conducte de connexió, vàlvula de buit, trampa i altres components de buit i sistema de control elèctric. Sistema típic de buit es mostra en Fig.1 i Fig.2.

1. vàlvula de purga Cambra buit2. ionització indicador de buit 3. Thermocouple indicador de buit 4. Vàlvula de regulació de flux

5. alta vàlvula de buit6. bomba de difusió 7. Tanc d'emmagatzemament de gas

8. indicador thermocouple (mesures de pressió de pre-l'etapa difusió de la bomba)9. suport vàlvula 10. Sensor de pressió

11. pre-bombeig vàlvula12. arrels la bomba de buit 13. Vàlvula bypass 14. Vàlvula electromagnètica sagnar

15. mecànica bomba de buit

Fig.1 diagrama esquemàtic d'un sistema de buit típic

1. Cambra de buit de2. ionització indicador de buit 3. Thermocouple indicador de buit 4. Vàlvula de deflació

5. alt buit vàlvula 6. Trampa de fred 7. Bomba de difusió 8. 9 vàlvula de suport. Vàlvula electromagnètica sagnar

10. mecànica bomba de buitVàlvula de pre-bombament 11

Fig.2 diagrama esquemàtic d'un sistema de buit típic