Conclusió d'oxigen flux té un paper important en les propietats òptiques de pel·lícules de TiO2

Conclusió de flux d'oxigen juga un paper important en les propietats òptiques de pel·lícules de TiO2. Mitjançant el control del flux d'oxigen per ajustar el grau de buit a la Cambra de buit, la transmitància espectral pic de la pel. lícula de TiO2 augmenta amb la disminució del grau de buit, i l'índex de refracció i el coeficient d'extinció augmenten primer i després disminueixen amb la disminució del grau de buit. Quan el grau de buit és de 2,0 × 10-3PA, la pel lícula preparada TiO2 té una alta transmitància en la regió espectral visible, amb una transmitància màxima de 92%, índex de refracció entre 2,50 i 2,20, i coeficient d'extinció per sota de 10-4. El coeficient de correlació quadrat de la corba de muntatge i els resultats calculats pel mètode de sobres és 0,999 46, i l'equació de dispersió de Cauchy de l'índex de refracció és n () = 2,17 + 6.12 × 104/2 + 2.98 × 108/4.

IKS-OPT2700 òptic de la màquina de recobriment de buit d'E-Gun, més detalls, contacte:iks.pvd@foxmail.com