Calcular l'índex de refracció i el coeficient d'extinció del film TiO 2 basat en el mètode de sobre

Per calcular l’índex de refracció i el coeficient d’extinció del film TiO 2 basat en el mètode d’envolupament, el coeficient d’absorció del material no ha de ser massa gran, sinó que afectarà la transmitància final del producte film i reduirà el rendiment òptic. del producte; Al mateix temps, l’índex de refracció no ha de ser massa baix, sinó que l’amplada de la banda de tall es veurà afectada. Proposat per Manifacier a 1976, el mètode de la línia de baoluo és calcular els paràmetres de pel·lícula òptica de la capa de pel·lícula invertint el valor extrem de transmitància (o reflectància) al gruix òptic de la capa de pel·lícula per multiplicar nombres de lambda / { {3}}. En la mesura real, el punt T / 2 màxim i el punt mínim de transmissió T / 4 es connecten per formar dues línies de sobre, Tmax () i Tmin (). Llavors, els extrems de transmissió T / 2 i T / 4 a qualsevol longitud d’ona s’obtenen agafant punts a la línia de l’embolcall. Finalment, el coeficient d’extinció i l’índex de refracció de la capa de pel·lícula es calculen mitjançant el valor extrem de transmitància i el gruix de la capa de pel·lícula es calcula segons el valor calculat de l’índex de refracció i la longitud d’ona del punt extrem.

El procés de mesurament del mètode és simple, el mètode pot mesurar simultàniament índex de refracció de pel·lícula, coeficient d'extinció i gruix del procés de mesurament no necessita contactar amb les mostres de pel·lícula, protecció de mostres, és ideal per comparar tot tipus de mètodes de resultats de proves d'equip, si s’utilitza adequadament, pot ser com una manera de determinar la pel·lícula totes les constants òptiques. L'índex de refracció lineal n i el gruix L de la pel·lícula a la longitud d'ona es calculen mitjançant el mètode de sobre.

On:

0010010 nbsp; n0 i n 1 són l'índex de refracció de l'aire i la base respectivament; Tmax i Tmin són la transmissió màxima i mínima a la longitud d’ona; Lambda 1, lambda 2 i n (lambda 1), n (lambda 2) corresponen a la longitud d'ona i a l'índex de refracció de dos cims adjacents o valls de la transmissió. corba, respectivament. L’índex de refracció i el coeficient d’extinció del film TiO 2 es van calcular mitjançant el programari Macleod. Tal com es pot observar a la figura (a) següent, el rang espectral és visible en uv i infraroig proper i l'índex de refracció de totes les 4 mostres disminueix. L'índex de refracció del número de mostra 1 de la banda de 400 ~ 1 000 nm està entre 2. {{15}} ~ {{4 }}. 15. L’índex de refracció del número de mostra 2 i el número de mostra 3 va ser lleugerament més elevat, mentre que el del núm. De mostra 4 va ser lleugerament inferior a la mateixa longitud d’ona, oscil·lant entre {{4} }. 45 a 2. 15. 0010010 nbsp;

A la figura (b) anterior, es pot veure que el número de mostra 1 té una absorció òbvia, i el coeficient d'extinció augmenta amb el rang espectral des d'Uv-visible a UV. Es pot saber que es produeixen òxids de baix preu de metall Ti a causa del subministrament insuficient d’oxigen. La transmissió màxima del nº de mostra 2 es va millorar significativament i el coeficient d'extinció es trobava bàsicament per sota de {{5}}. 5×10-3, que encara va tenir un impacte en la transmissió final de l'espectre. Els coeficients d’extinció dels espectres del número de mostra 3 i el número de mostra 4 són de l’ordre de 10-4, i l’efecte sobre la transmissió final dels espectres és bàsicament insignificant. Nº 1 i núm. 2 el coeficient d'extinció de la mostra amb longitud d'ona augmenta, els altres dos bàsics no varien amb la longitud d'ona el coeficient d'extinció de la mostra, en la condició del grau de buit, no . 1 i núm. 2 mostres amb l’augment de la longitud d’ona i la velocitat de transmissió es redueix, al contingut d’oxigen és massa baix, hi ha format metall Ti i el coeficient d’extinció del Ti és dreta és la longitud d'ona augmenta.

A través de la comparació de les quatre mostres, es va trobar que amb l’augment del flux d’oxigen, el grau de xapat del buit va disminuir i la refracció de la pel·lícula de TiO 2 va augmentar primer i després va disminuir. Mitjançant l’augment d’augment d’oxigen després dels ions d’oxigen de la font d’ions d’ionització, augmentarà la pel·lícula de bombardeig de densitat d’ions, farà una capa de membrana més densa, millorant així l’índex de refracció de la pel·lícula, quan la quantitat d’ompliment d’oxigen augmentarà encara més, però El sistema de placatge al buit relativament baix, l’excés de molècules d’oxigen i la col·lisió molecular de TiO 2 de membrana, van reduir l’energia cinètica molecular de membrana TiO 2 , de manera que es va fer la deposició de TiO 2 migració molecular de pel·lícula fina. la velocitat es redueix, la densitat de la capa de membrana, ha reduït encara més l’índex de refracció de pel·lícules primes. Si menys oxigen, és a dir, el sistema de xapat al buit és elevat, també causa que la quantitat d'oxigen sigui menor, 0010010 # 39; pot subministrar Ti 2 O 3 Es preveu que es descomposi en la pèrdua d’evaporació del contingut d’oxigen en oxigen, la causa de la composició de pel·lícules de xapat té òxid baix de titani que conté òxid, afecten les propietats òptiques de pel·lícules primes, per la qual cosa l’elecció d’oxigen de flux adequat per a TiO 2 òptica pel·lícula fina el sistema de xapatge és molt important.

IKS-OPT 2700 màquina òptica de recobriment al buit de pistola electrònica，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com