La necessitat de detecció de fugues al buit i la font de Gas que afecta el sistema buit

El sistema de buit s'exigeix per obtenir i mantenir l'estat buit. Si hi ha una fuita d'aire seriós, és un defecte essencial del sistema. Per tant, és necessària la detecció de fugues buit rellevants.

Transpiració i permeable és diferent a la natura. Transpiració és el procés d'infiltració de gas, difusió, passatge i escapar d'un costat amb una alta densitat a un costat amb una densitat de petit. Qualsevol material té certa permeabilitat. Fuita és un fenomen en que el gas molècules flux des del costat d'alta pressió a la part baixa pressió a causa de defectes en el material propi o pobres segellar parts. En un altre cas, fuites no es produeix a temperatura ambient, però la diferència de coeficient d'expansió tèrmica en el moment del canvi de temperatura també pot causar la fuita. Fig.1 és un diagrama esquemàtic de la font de gas que afecta el sistema de buit.

Fig.1 diagrama esquemàtic de la font de gas que afecta el buit de sistema

Estrictament parlant, qualsevol sistema de buit ha fuites d'aire i fuites d'aire és absoluta. Una certa proporció de fuita pot ser tolerada per diferents sistemes de buit. Per a la tecnologia actual buit, és la taxa permesa fuites del sistema Ultra-alt buit≤1.33×10^-11Pa.m³/s.

Detecció de fugues de buit s'ha convertit en una part indispensable de la producció i utilització dels sistemes de buit. El mètode de detecció de fugues buit és variada, i els mètodes més representatives són la detecció de fugues heli espectròmetre de masses i anàlisi de residual gas quadrupol espectròmetre de masses.